永晶關聯：福建省邵武市永飛化工有限公司
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無機高純化學品部
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傳真：0599-6655755
質量標準：
| 分子式：HF 分子量：20.01 | |||
|
序號 |
項目 |
單位 |
規格值 |
|
1 |
氫氟酸 (HF) |
wt% |
≥99.999 |
|
2 |
氯化物（Cl） |
ppb |
≤100 |
|
3 |
硝酸鹽 (NO3) |
ppb |
≤100 |
|
4 |
磷酸鹽（PO4） |
ppb |
≤100 |
|
5 |
硫酸鹽（SO4） |
ppb |
≤100 |
|
6 |
硅（Si） |
ppb |
≤100 |
|
7 |
鐵（Fe） |
ppb |
≤50 |
|
8 |
鎳（Ni） |
ppb |
≤50 |
|
9 |
鉻（Cr） |
ppb |
≤50 |
|
10 |
銅（Cu） |
ppb |
≤50 |
|
11 |
鈉（Na） |
ppb |
≤50 |
|
12 |
鈣（Ca） |
ppb |
≤50 |
性狀：
無色透明液體，在空氣中冒白煙，有強烈刺激性氣味，劇毒，并有強烈的腐蝕性，沸點19.5℃。
用途：
半導體蝕刻。
貯存：
貯存在帶棚的庫房中。嚴禁暴曬，嚴禁與易爆物品混放。
運輸：
按一級無機酸性腐蝕物品對待。
包裝：
用中壓高純鋼瓶包裝，每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。
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